凈化工程技術(shù)方案

 電子產(chǎn)品的種類繁多，隨著微型化、精 密 化、高純度、高質(zhì)量和高可靠的電子產(chǎn)品品種的增加，需要在空氣懸浮粒子受控環(huán)境中進(jìn)行全過程生產(chǎn)或部生產(chǎn)的電子產(chǎn)品主要有：各種半導(dǎo)體材料及其器件生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)、光電子生產(chǎn)、薄膜晶體管液晶顯示器（簡稱：TFT-LCD）生產(chǎn)、微硬盤驅(qū)動器（簡稱HDD）生產(chǎn)、等離子顯示器（簡稱：PDP）生產(chǎn)、磁頭和磁帶生產(chǎn)、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)、印制電路板等。

各類產(chǎn)品的品種不同和生產(chǎn)工藝不同，所要求的空氣潔凈度等級也不相同，因此各種電子產(chǎn)品用潔凈廠房設(shè)計時，生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。由于各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝都各不相同，所以對于空氣潔凈度等級、控制粒徑均列出一定的范圍供參考，為說明這些差異，泰安市優(yōu)德環(huán)境科技有限公司列舉一些工程的實(shí)例供參考：

1.硅單晶及硅片加工要求的空氣潔凈度等級

2.集成電路的芯片制造用潔凈廠的空氣潔凈度等級、溫濕度要求

注：表中·為芯片生產(chǎn)設(shè)備配帶微環(huán)境裝置，裝置內(nèi)空氣潔凈度等級為1～2級！

3.TFT-LCD制造用潔凈廠房的空氣潔凈度等級、溫度、濕度

4.微硬盤驅(qū)動器（HDD）生產(chǎn)用潔凈廠房

濺射生產(chǎn)區(qū)4級：0.1μm、23±1℃、45％±5％；組裝、測試等6級：0.3μm、23±2℃、45％±10％。

5.高密度磁盤生產(chǎn)用潔凈廠房

（1）切帶間、帶基間、涂布間、固化間等6級：0.5μm、23±1℃、50±5％，其中，涂布間的頭部要求5級。

（2）組裝間7級：0.5μm、23±2℃、50±10％。

（3）配件間、化驗(yàn)室8級：0.5μm、24±3℃、50±10％。

6.彩色顯像管生產(chǎn)用潔凈廠房的空氣潔凈度等級、溫度、濕度

7.光纖生產(chǎn)用潔凈廠房的空氣潔凈度等級、溫度、濕度

8.磁頭生產(chǎn)用潔凈廠房

磁頭裝配、濺射燒結(jié)等要求4級（0.1μm），研磨、檢測等要求5級（0.1μm），切割等要求6級。

9.印制電路板生產(chǎn)用潔凈廠房：6.5級、24±2℃、65％±5%。

10.鋰電池生產(chǎn)的干作業(yè)潔凈生產(chǎn)區(qū)：6級、23℃；露點(diǎn)（DP)－30℃；組裝、測試潔凈室（區(qū)）：7級、23±2℃、≈20%。

11.等離子顯示器（PDP)生產(chǎn)用潔凈廠房

涂屏間：5.5級、25±2℃,50%±10%。

其他生產(chǎn)間：6.5~8級、20~26℃、55%±10%。